世界焦点！盛美上海：今年会推出多种膜的PECVD

2023-01-11 18:27:40 来源:机会报

(资料图)

盛美上海（688082）近日接待了安信证券、百嘉基金、宝盈基金等机构调研，公司领导对新产品PECVD进行了简单介绍，并就投资者关心的问题进行了回答。

据公司介绍，新产品PECVD设备的layout和友商设备不同，同时，公司设备的差异化腔体设计有自主知识产权申请保护，这样可以保证薄膜的良好的均匀性，应力可控，较少的颗粒。

盛美上海相关负责人透露，公司的PECVD可以覆盖存储及逻辑客户，今年会推出多种膜的PECVD，在客户端进行验证。部分PECVD的核心零部件来自海外的供应链。对于比较难实现国产化的零部件，公司介绍，主要是一些阀，如真空阀、真空泵等，这些公司也在做一些应对工作。此外机械手也是重要的一块，目前这个部分是找韩国一家核心供应商做的。未来公司还会持续发展追求多样化，争取拥有自己的特点。核心的机械手请几家公司来做，一般的常用的机械手可以开放地选择供应商。

展望2023年，盛美上海表示今年希望有多台设备和多个客户进行合作，用并行的方式对工艺进行并行验证，同时看与客户的合作进度。如果合作顺利的话，希望能覆盖30%到50%，然后再继续发展。

关键词安信证券公司领导简单介绍

世界焦点！盛美上海：今年会推出多种膜的PECVD

最近更新